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瀏覽 的方式： 作者 湯毓哲

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公開日期標題作者
2012有延遲時間的MOCVD製程反應腔體內部壓力控制系統的強健控制湯毓哲; Tang, Yuh-Che; 李安謙; Lee, An-Chen; 機械工程系所
16-二月-2015用於金屬有機化學氣相沉積的真空壓力控制裝置李安謙; 湯毓哲; 郭子瑋
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