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公開日期 | 標題 | 作者 |
---|---|---|
16-六月-2004 | 一種利用非晶矽及氧化層堆疊形成奈米級超淺接面之製程 | 雷添福; 張子云; 溫凰君 |
2001 | 非晶矽覆蓋層形成超淺接面在奈米MOS元件之應用 | 溫凰君; Huang-Chun Wen; 雷添福; Tan Fu Lei; 電子研究所 |
公開日期 | 標題 | 作者 |
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16-六月-2004 | 一種利用非晶矽及氧化層堆疊形成奈米級超淺接面之製程 | 雷添福; 張子云; 溫凰君 |
2001 | 非晶矽覆蓋層形成超淺接面在奈米MOS元件之應用 | 溫凰君; Huang-Chun Wen; 雷添福; Tan Fu Lei; 電子研究所 |