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公開日期 | 標題 | 作者 |
---|---|---|
2003 | 以感應耦合式電漿系統成長之超薄氮氧化矽薄膜的電特性與可靠度研究 | 陳柏寧; Bo-Ning Chen; 張國明; 桂正楣; Kow-Ming Chang; Cheng-May Kwei; 電子研究所 |
2010 | 電感耦合電漿氮化製程與氟化製程對鉿系高介電常數材料薄膜之效果 | 陳柏寧; Chen, Bwo-Ning; 張國明; Chang, Kow-Ming; 電子研究所 |
公開日期 | 標題 | 作者 |
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2003 | 以感應耦合式電漿系統成長之超薄氮氧化矽薄膜的電特性與可靠度研究 | 陳柏寧; Bo-Ning Chen; 張國明; 桂正楣; Kow-Ming Chang; Cheng-May Kwei; 電子研究所 |
2010 | 電感耦合電漿氮化製程與氟化製程對鉿系高介電常數材料薄膜之效果 | 陳柏寧; Chen, Bwo-Ning; 張國明; Chang, Kow-Ming; 電子研究所 |