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瀏覽 的方式： 作者 陳維中

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2014以高含碳前驅物利用電漿輔助化學氣相沉積法製備低介電碳氮化矽薄膜陳維中; Chen, Wei-Zhong; 呂志鵬; Leu, Jihperng; 材料科學與工程學系所
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