Browsing by Author 陳鵬森
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2000 | 銅化學氣相沈積基本特性及基板電漿前處理之研究 | 陳鵬森; Peng-Sen Chen; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen; 電子研究所 |
| 11-Sep-2006 | 降低化學氣相沉積銅膜電阻率及提高銅膜Cu（111）／Cu（200）晶向比之電漿處理製程 | 陳茂傑; 林成利; 陳鵬森 |
| 16-Nov-2006 | 降低化學氣相沉積銅膜電阻率及提高銅膜Cu（111）／Cu（200）晶向比之電漿處理製程 | 陳茂傑; 林成利; 陳鵬森 |