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公開日期標題作者
2002多層導體連線銅電鍍與電拋光製程之研究張世杰; Shih-Chieh Chang; 馮明憲; 戴寶通; 謝嘉民; Ming-Shiann Feng; Bau-Tung Dai; Jia-Ming Shieh; 材料科學與工程學系
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