瀏覽 的方式: 作者 Chen, Ting-Jiun

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2017電漿輔助化學氣相沈積碳氮化矽薄膜 之應力研究陳亭君; 呂志鵬; Chen, Ting-Jiun; Leu, Jih-Perng; 材料科學與工程學系所