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瀏覽 的方式： 作者 Chiu, Wei-Gang

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公開日期標題作者
2012以1,2,2,4-四甲基-1-氮-2-環戊烷作為先趨物利用電漿輔助化學氣相沉積法製備低介電碳氮化矽薄膜邱維剛; Chiu, Wei-Gang; 呂志鵬; Leu, Jih-perng; 材料科學與工程學系
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