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2000ULSI嵌入式銅導線之無研磨粒子平坦化技術方政煜; Jeng - Yu Fang; 馮明憲; 戴寶通; 蔡明蒔; Ming – Shiann Feng; Bau – Tong Dai; Ming – Shih Tsai; 材料科學與工程學系
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