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1998銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究莊瑞璋; Jui-Chang Chuang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen; 電子研究所
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