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公開日期標題作者
1989活性離子蝕刻在矽晶上製作槽溝式電容之研究賴以睿; LAI,YI-RUI; 鄭晃忠; 謝宗雍; ZHENG,HUANG-ZHONG; XIE,ZHONG-YONG; 材料科學與工程學系
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