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公開日期標題作者
2006化學機械研磨機台先進製程控制器設計與實作林家瑞; LIN CHIA-SHUI; 交通大學機械工程系
2003嵌入式銅導線之無研磨粒子平坦化技術的先進製程控制林家瑞; LIN CHIA-SHUI; 國立交通大學機械工程學系
2002電漿蝕刻製程的先進製程控制林家瑞; LIN CHIA-SHUI; 交通大學機械工程系
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