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2015溴化十二烷基二甲胺致孔劑 對低介電多孔性MSQ結構與性質的影響張仲謙; Chang, Chung-Chien; 呂志鵬; 莊偉綜; Leu , Jihperng (Jim); Wei-Tsung Chuang; 工學院加速器光源科技與應用碩士學位學程
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