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瀏覽 的方式： 作者 Lin, Wendy

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1997高密度電漿蝕刻應用於深次微米元件結構之研究林文迪; Lin, Wendy; 鄭晃忠, 戴寶通; Huang-Chung Cheng, Bau-Tong Dai; 電子研究所
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