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2017使用介電質電漿處理法製作高效能砷化銦鎵三維金氧半場效電晶體達未來低耗能高速邏輯元件應用楊坤昇; 張翼; 馬哲申; Yang, Kun-Sheng; Chang, Yi; Maa, Jer-Sen; 光電系統研究所
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