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Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
1993 | 快速加熱化學氣相沉積在積體電路製程應用之研究 | 王琳松; Lin-Sung Wang; 孫喜眾; S.C. SUN; 電子研究所 |
1995 | 用於多層金屬連線的旋轉式塗佈低介電常數材料特性之研究 | 莊岳鎮; Chuang , Yueh-Cheng; 孫喜眾; S.C. SUN; 電子研究所 |
Issue Date | Title | Author(s) |
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1993 | 快速加熱化學氣相沉積在積體電路製程應用之研究 | 王琳松; Lin-Sung Wang; 孫喜眾; S.C. SUN; 電子研究所 |
1995 | 用於多層金屬連線的旋轉式塗佈低介電常數材料特性之研究 | 莊岳鎮; Chuang , Yueh-Cheng; 孫喜眾; S.C. SUN; 電子研究所 |