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瀏覽 的方式： 作者 Sheu, Jeng-Dong

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1995以電漿沈積法成長摻雜氟之低介電常數二氧化矽應用於內層介電材料之特性研究許正東; Sheu, Jeng-Dong; 施敏; Simon-Min Sze; 電子研究所
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