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瀏覽 的方式： 作者 Wu, Chin-Jen

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公開日期標題作者
1995用電子迴旋共振化學氣相沈積技術以矽烷，氧及四氟化碳成長低介電常數氟氧化矽層之研討吳青正; Wu, Chin-Jen; 張國明; Kow-Ming Chang; 電子研究所
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