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2009300mm晶圓清洗槽槽體內部流場之數值模擬吳進原; Wu, Chin-Yuan; 傅武雄; Fu, Wu-Shung; 工學院精密與自動化工程學程
2015接地和浮動電極配置對氦氣常壓電漿束殺菌效率之研究吳金原; Wu, Chin-Yuan; 吳宗信; 工學院半導體材料與製程設備學程
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