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瀏覽 的方式： 作者 Yu, Jyh-Chern

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公開日期標題作者
1997三層多晶矽電熱式微致動器與微滑桿致動系統之製作、分析與研究余志誠; Yu, Jyh-Chern; 邱俊誠; Jin-Chern Chiou; 電控工程研究所
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