半導體批次製程可變量測延遲控制器開發研究

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	李安謙	en_US
dc.contributor.author	LEE AN-CHEN	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:49:45Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:49:45Z	-
dc.date.issued	2014	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC102-2221-E009-052-MY2	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/101805	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=8108765&docId=429189	en_US
dc.description.sponsorship	科技部	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	半導體批次製程可變量測延遲控制器開發研究	zh_TW
dc.title	The Development of Semiconductor Run-To-Run Process Controller with Variable Measurement Delay	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	國立交通大學機械工程學系（所）	zh_TW
顯示於類別：	研究計畫