標題: | 一種電子顯微鏡樣品盒 |
作者: | 陳智 杜經寧 |
公開日期: | 16-一月-2013 |
摘要: | 本發明係有關於一種電子顯微鏡樣品盒,包括:一第一基板、一第二基板、一或以上之光電元件、及一金屬黏著層。該第一基板具有一第一表面、一第二表面、一第一凹槽、及一或以上之第一導孔,該第一導孔係貫穿第一基板。該第二基板具有一第三表面、一第四表面、及一第二凹槽。該光電元件係設置於第一基板及第二基板間。另外,該金屬黏著層,係設置於該第一基板與該第二基板間以形成一空間,使樣品容置於其中。此外,本發明更包括一或以上之栓塞,係可密封第一導孔,使本發明之樣品盒密封並以電子顯微鏡即時觀測。 |
官方說明文件#: | H01J037/20 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/103324 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 201303951 |
顯示於類別: | 專利資料 |