Title: | 塗佈裝置、塗佈方法以及控制磁性流體之方法 |
Authors: | 陳慶耀 巫文良 |
Issue Date: | 16-Sep-2012 |
Abstract: | 本發明提供一種塗佈裝置、塗佈方法以及控制磁性流體之方法,其是利用一徑向磁場施加於一磁性流體,以驅使磁性流體自徑向磁場之中心往外輻射狀延展,藉以避免旋轉塗佈技術所產生的問題。 |
Gov't Doc #: | B05C009/08 H01L021/30 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/103389 |
Patent Country: | TWN |
Patent Number: | 201236768 |
Appears in Collections: | Patents |
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