| 標題: | 塗佈裝置、塗佈方法以及控制磁性流體之方法 |
| 作者: | 陳慶耀 巫文良 |
| 公開日期: | 16-Sep-2012 |
| 摘要: | 本發明提供一種塗佈裝置、塗佈方法以及控制磁性流體之方法，其是利用一徑向磁場施加於一磁性流體，以驅使磁性流體自徑向磁場之中心往外輻射狀延展，藉以避免旋轉塗佈技術所產生的問題。 |
| 官方說明文件#: | B05C009/08 H01L021/30 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/103389 |
| 專利國: | TWN |
| 專利號碼: | 201236768 |
| Appears in Collections: | Patents |
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