一種平整化氮化物基板的方法

標題:	一種平整化氮化物基板的方法
作者:	李威儀陳奎銘吳尹豪葉彥顯
公開日期:	16-七月-2012
摘要:	本發明揭露一種平整化氮化物基板的方法,首先選擇獨立式氮化物基板的特定面向,對該面向進行蝕刻,在經過適度的蝕刻時間後,該特定面向的表面會產生特定的形貌,如柱狀或洞狀或平坦狀等結構,從而降低獨立式氮化物基板的翹曲程度以達到平整化氮化物基板的效果。
官方說明文件#:	H01L021/3065 H01L021/306
URI:	http://hdl.handle.net/11536/103405
專利國:	TWN
專利號碼:	201230187
顯示於類別：	專利資料

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