具有非極性三族－氮化物層的多層結構及其製法

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	李威儀	en_US
dc.contributor.author	陳振芳	en_US
dc.contributor.author	江振豪	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-16T06:12:40Z	-
dc.date.available	2014-12-16T06:12:40Z	-
dc.date.issued	2010-08-16	en_US
dc.identifier.govdoc	H01L021/318	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/103705	-
dc.description.abstract	一種具有非極性三族-氮化物層的多層結構及其製法,包括在基板上形成複數成核層;以及於該成核層上形成非極性三族-氮化物層,其中,各該複數成核層係獨立選自下式(I)之氮化物:AxB1-xN (I) 式中,A和B係選自B、Al、Ga、IN或Tl之不相同的元素,且0≦x≦1。該複數成核層可有效減緩應力、減少晶格位差、阻擋差排延伸並降低差排密度,故可形成表面平坦且結晶品質佳之三族-氮化物層。	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	具有非極性三族－氮化物層的多層結構及其製法	zh_TW
dc.type	Patents	en_US
dc.citation.patentcountry	TWN	zh_TW
dc.citation.patentnumber	201030849	zh_TW
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