完整後設資料紀錄
| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 邱俊誠 | en_US |
| dc.contributor.author | 張志瑋 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-16T06:12:55Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-16T06:12:55Z | - |
| dc.date.issued | 2009-05-16 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | G01R001/073 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/103890 | - |
| dc.description.abstract | 一種三維微探針陣列的組裝結構,利用墊片(spacer)的概念,疊加單片側向式探針成為三維立體結構,並且使每一片側向式探針之導電片皆於墊片露出,使得導線易於連接,而可同時偵測深度與角度,有效的增進感測可靠度,此外,亦可將相關訊號處理積體電路與墊片整合,更可達到整合電路與降低製造成本的優勢。 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 三維微探針陣列的組裝結構 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |
| dc.citation.patentcountry | TWN | zh_TW |
| dc.citation.patentnumber | 200921109 | zh_TW |
| 顯示於類別： | 專利資料 | |
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