尖端增強之微電漿元件

Abstract

一種尖端增强之微電漿元件,主要是利用微尖端結構具有很强的電場集中效應,乃於陰極板上設置有微尖端電極,可將電場局部集中於微尖端電極上,而易於在陰極板與陽極板間的放電空間中誘發出電漿現象,藉此達到降低電漿崩解電壓的效果。