具陣列式奈米孔洞之氧化鋁薄膜的製造方法

Abstract

本發明提出一種具陣列式奈米孔洞之氧化鋁薄膜的製造方法，首先提供一商用鋁基材，將商用鋁基材經過退火處理，再經過電解拋光處理，以使鋁基材表面呈現鏡面效果，並接著進行陽極處理，使鋁基材表面上形成一含有奈米級之數孔洞的氧化鋁薄膜，且孔洞呈現陣列式排列，再來進行熱處理，使鋁基材產生氧化反應，而使部分較小孔洞被產生氧化反應之氧化物因自我擴散效應填滿，使得孔洞均一化，最後再進行擴孔處理，以使孔洞擴張。本發明可簡化製程、便於控制製造過程之操作，並可在同時降低成本下，在氧化鋁薄膜上得出均一孔徑且具陣列式排列之奈米孔洞分佈。