結合固態浸沒式透鏡與奈米微孔之製造方法及其裝置

Abstract

本發明有關一種結合固態浸沒式透鏡與奈米微孔之製造方法及其裝置，包括在一基板上沈積一犧牲層，塗佈光阻於該犧牲層上且利用微影技術在該光阻上形成一微孔，再施以該光阻回流及蝕刻去除該微孔下方之犧牲層，然後在該光阻上沉積一導電材料及執行電鍍以縮小該微孔之孔徑，接著塗佈另一光阻及利用微影技術在該微孔上方形成一柱狀光阻結構，再使該柱狀光阻高溫回流而形成一微透鏡，最後去除該基板以獲得一結合固態浸沒式透鏡與奈米微孔之光學讀／寫裝置。