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Method for making very low Vt metal-gate/high-κ CMOSFETs using self-aligned low temperature shallow junctions | 86 |
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Method for making very low Vt metal-gate/high-κ CMOSFETs using self-aligned low temperature shallow junctions | 0 | 0 | 0 | 0 | 1 | 0 | 0 |
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