完整後設資料紀錄
| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | ポ－イ クオ | en_US |
| dc.contributor.author | ティエン－シェン チャオ | en_US |
| dc.contributor.author | イ－シェン ル | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-16T06:16:23Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-16T06:16:23Z | - |
| dc.date.issued | 2014-05-09 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | H01L029/786 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | H01L021/336 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/105799 | - |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | ナノワイヤチャネルを有する半導体装置の製造方法およびこの装置を用いた半導体装置の製造方法 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |
| dc.citation.patentcountry | JPN | zh_TW |
| dc.citation.patentnumber | 5532071 | zh_TW |
| 顯示於類別： | 專利資料 | |
