サスペンデッドナノワイヤチャネルを有するトランジスタ構造とその製造方法

標題:	サスペンデッドナノワイヤチャネルを有するトランジスタ構造とその製造方法
作者:	林鴻志蘇俊榮徐行徽李冠樟
公開日期:	24-Feb-2012
官方說明文件#:	H01L029/786 H01L021/336
URI:	http://hdl.handle.net/11536/105806
專利國:	JPN
專利號碼:	4934662
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