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dc.contributor.author盧廷昌en_US
dc.contributor.author黄▲キ▼閔en_US
dc.contributor.author郭浩中en_US
dc.contributor.author王興宗en_US
dc.date.accessioned2014-12-16T06:16:23Z-
dc.date.available2014-12-16T06:16:23Z-
dc.date.issued2013-06-20en_US
dc.identifier.govdocH01L021/308zh_TW
dc.identifier.govdocH01L021/306zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/105816-
dc.description.abstract【課題】半導体光学装置において良好な均一性を有する空気媒質層の製造方法を提供する。【解決手段】基板40上に、GaN(窒化ガリウム)薄膜42と、ZnO(酸化亜鉛)からなる犠牲層441と、窒素化合物を含む半導体層46と、からなる積層膜を形成した後、酸性溶液に浸すことで一部の犠牲層を取り除き、GaN(窒化ガリウム)薄膜42及び窒素化合物を含む半導体層46の間に残留した犠牲層441とその周囲の空間に空気媒質層442を有する半導体光学素子4を形成する。【選択図】図5zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title空気媒質層を有する半導体光学装置の製造方法及び空気媒質層の形成方法(Asemiconductoropticaldevicehavingairmedialayerandthemethodforformingtheairmedialayer)zh_TW
dc.typePatentsen_US
dc.citation.patentcountryJPNzh_TW
dc.citation.patentnumber2013123025zh_TW
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