光學元件中微透鏡與微孔自我對準的製作方法
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本發明係揭露一種光學元件中微透鏡與微孔自我對準
的製作方法,其係在一透明基板上之不透明薄膜中製作微
孔與環型孔,再以背向曝光自我對準技術將微孔與高分子
材料所構成之微透鏡精確地整合,不需任接合步驟,且能
以較習知技術更為簡單的方式,藉由一連貫之批次生產製
造流程將微透鏡與微孔精確地對準整合。由於微孔與環型
孔屬於同心圓結構,且為同一步驟製作而成,因此藉由背
向曝光方法,即能將微透鏡與微孔精確地對準整合。利用
本發明製作出的微透鏡與微孔之整合結構,在光學存取或
光學測量裝置應用上,可有效提高其光學解析度與效能。