垂直入射型折射率測量裝置

Abstract

本發明係揭露一種垂直入射型折射率測量裝置，其係將由左旋偏光及右旋偏光間有頻差的旋光外差光源所發出來的光線，經一偏光保持光纖將光入射於一測試模組。一檢偏板抽出經高反射面鏡及待測物垂直反射而回光束中相同的偏極光成份，並使之干涉；其干涉信號由光偵測器測得。再利用一相位計分析光偵測器所得的訊號可得到經由待測物所引進的相位差，此相位差與待測物的折射率有關；最後再根據瓊斯計算法(Jones calculus)與斯涅耳方程式所推演出的公式以及由外差干涉術所測出的相位差變化，便可計算出待測物的折射率。由於本發明無須使用造成全反射的稜鏡，所以對於待測物的量測範圍將不會受探頭折射率的限制，故量測範圍較為廣泛並以垂直入射待測物，所以裝置及操作上都更為簡單。