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dc.contributor.author李承士en_US
dc.contributor.author張翼en_US
dc.date.accessioned2014-12-16T06:17:23Z-
dc.date.available2014-12-16T06:17:23Z-
dc.date.issued2005-03-21en_US
dc.identifier.govdocH01L021/363zh_TW
dc.identifier.govdocH01L021/363zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/106399-
dc.description.abstract一種可調式準直器與具有此種可調式準直器之濺鍍設備,其可調式準直器係由可調式本體、第一準直元件以及第二準直元件所構成。可調式本體具有一內部空間,且其有上部、下部以及上部與下部之間的調整器,這個調整器可調整上部與下部之相對間距。第一準直元件是固設於上部之內部空間中,俾使第一準直元件隨上部移動,而第二準直元件係位於第一準直器下方並固設於下部之內部空間中,俾使第二準直元件隨上部移動。當可調式準直器應用於濺鍍設備時,能藉由調整上部與下部的相對間距來控制入射的濺鍍材料分子角度。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title可調式準直器與具有此種可調式準直器之濺鍍設備zh_TW
dc.typePatentsen_US
dc.citation.patentcountryTWNzh_TW
dc.citation.patentnumberI229908zh_TW
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