| 標題: | 一種鈣鈦礦薄膜電容結構及其製造方法 |
| 作者: | 林鵬 曾俊元 帝人杜邦菲林日本股份有限公司 |
| 公開日期: | 1-十一月-2004 |
| 摘要: | 本案係指一種於低溫下之電晶體鈣鈦礦電容結構及其製造方法，其包含下列步驟：(a)提供一基板；(b)形成一釕薄膜於該基板上；以及(c)再依序形成一第一釕酸鍶鋇電極、一鈣鈦礦電容材料之結構、及一第二釕酸鍶鋇電極結構於該釕薄膜上。 |
| 官方說明文件#: | H01L027/02 H01L027/02 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/106420 |
| 專利國: | TWN |
| 專利號碼: | I223433 |
| 顯示於類別： | 專利資料 |
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