一種鈣鈦礦薄膜電容結構及其製造方法

Abstract

本案係指一種於低溫下之電晶體鈣鈦礦電容結構及其製造方法，其包含下列步驟：(a)提供一基板；(b)形成一釕薄膜於該基板上；以及(c)再依序形成一第一釕酸鍶鋇電極、一鈣鈦礦電容材料之結構、及一第二釕酸鍶鋇電極結構於該釕薄膜上。