低溫沉積氧化層的方法

Abstract

一種低溫沉積氧化層的方法，在利用液相沉積氧化層之前先使用臭氧處理，以於基板表面成長原生氧化層，再沉積液相氧化層，並且可以於氧化層形成後施以電漿退火處理，可獲得高品質氧化膜，而所有製程均可在室溫下進行。