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| Low-K/Cu CMOS-based SoC technology with 115-GHz f(T), 100-GHz f(max), noise 80-nm RF CMOS, high-Q MiM capacitor, and spiral Cu inductor | 112 |
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| Low-K/Cu CMOS-based SoC technology with 115-GHz f(T), 100-GHz f(max), noise 80-nm RF CMOS, high-Q MiM capacitor, and spiral Cu inductor | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 1 | 3 |
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