標題: | 單晶銅、其製備方法及包含其之基板 |
作者: | 陳智 杜經寧 呂佳凌 |
公開日期: | 1-三月-2015 |
摘要: | 本發明係有關於一種單晶銅,其具有[100]方向,且體積係介於0.1~4.0×10 6 μm 3 。本發明更提供一種單晶銅之製備方法及包含其之基板。 The present invention relates to a Cu single crystal having [100] crystal orientation and a volume of 0.1~ 4.0×10 6 μm 3 . The present invention further provides a manufacturing method for Cu single crystals and a substrate comprising the same. |
官方說明文件#: | C25D003/38 C30B029/02 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/122781 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 201508099 |
顯示於類別: | 專利資料 |