薄膜塗佈方法

Abstract

一種以雙刮刀狹縫塗佈裝置進行薄膜塗佈的方法，包含：提供一基板；提供一雙刮刀狹縫塗佈裝置，該雙刮刀狹縫塗佈裝置係具有一第一刮刀、一第二刮刀及一進料噴嘴，其中該進料噴嘴係設置在該第一刮刀與該第二刮刀之間的一狹縫中，該第一刮刀及該第二刮刀係沿著該基板之垂直方向平行設置於該基板上；塗佈一塗料於該基板上，其中該雙刮刀狹縫塗佈裝置沿著該基板之一垂直方向移動時，該塗料係同時藉由該進料噴嘴進入該狹縫，使得該雙刮刀狹縫塗佈裝置一邊移動該塗料一邊藉由該進料噴嘴下料，當該塗料經由該狹縫塗佈於該基板上時，該塗料會經由該第一刮刀對該塗料進行第一次平坦化步驟，接著當該第二刮刀經過該塗料時進行第二次平坦化步驟；對該塗料進行一加熱製程，以防止該塗佈於該基板上以形成該薄膜與該薄膜之間互溶，其中該加熱製程溫度範圍約為300℃至500℃；以及重覆該塗佈該塗料於該基板上之步驟，直到該塗料塗佈於該基板以形成具有一定且均勻厚度之一薄膜。