次7奈米鰭式元件世代新穎元件架構與通道材料之開發( I )

標題:	次7奈米鰭式元件世代新穎元件架構與通道材料之開發( I ) Exploration of Novel Device Structure and New Channel Material for Sub-7nm Technology Node FinFET( I )
作者:	簡昭欣 Chien Chao-Hsin 國立交通大學電子工程學系及電子研究所
公開日期:	2015
官方說明文件#:	MOST104-2119-M009-008
URI:	http://hdl.handle.net/11536/130322 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11481720&docId=463840
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