預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾之開發研究

標題:	預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾之開發研究 Predictive Disturbance Observer Structure Applied to Semiconductor Manufacturing Process under Different Kinds of Stochastic Disturbances
作者:	國立交通大學機械工程學系（所）
公開日期:	2016
官方說明文件#:	MOST104-2221-E009-027-MY2
URI:	http://hdl.handle.net/11536/130707 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11568455&docId=467851
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APA	(2016). 預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾之開發研究. https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11568455&docId=467851.
Bibtex	@article{2016, title={預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾之開發研究}, author={}, journal={https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11568455&docId=467851}, year={2016}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/130707}, }