含電子蒙地卡羅法的平行計算流體模型於多尺度射頻電漿模擬研究

標題:	含電子蒙地卡羅法的平行計算流體模型於多尺度射頻電漿模擬研究 Parallel Computing of Fluid Modeling with Electron Monte-Carlo Collision for a Multi-Scale Rf Plasma Simulation
作者:	吳宗信 WU JONG-SHINN 國立交通大學機械工程學系（所）
公開日期:	2016
官方說明文件#:	MOST103-2923-E009-004-MY3
URI:	http://hdl.handle.net/11536/130833 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11709933&docId=476549
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