霧化化學氣相沉積法成長非極性m面和半極性(1013)面氧化鋅磊晶於m面藍寶石基板之研究

標題:	霧化化學氣相沉積法成長非極性m面和半極性(1013)面氧化鋅磊晶於m面藍寶石基板之研究 Epitaxial growth of nonpolar m-plane and semipolar (1013) ZnO films on m-plane sapphire substrate by mist chemical vapor deposition
作者:	楊子毅張立 Yang, Tzu-I Chang, Li 材料科學與工程學系所
關鍵字:	氧化鋅;霧化法;半極性;非極性;ZnO;mist-CVD;nonpolar;semipolar
公開日期:	2016
URI:	http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070351535 http://hdl.handle.net/11536/139094
顯示於類別：	畢業論文