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標題: 霧化化學氣相沉積法成長非極性m面和半極性(1013)面氧化鋅磊晶於m面藍寶石基板之研究
Epitaxial growth of nonpolar m-plane and semipolar (1013) ZnO films on m-plane sapphire substrate by mist chemical vapor deposition
作者: 楊子毅
張立
Yang, Tzu-I
Chang, Li
材料科學與工程學系所
關鍵字: 氧化鋅;霧化法;半極性;非極性;ZnO;mist-CVD;nonpolar;semipolar
公開日期: 2016
URI: http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070351535
http://hdl.handle.net/11536/139094
Appears in Collections:Thesis


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