二維材料二硫化鉬電晶體製程技術開發之研究

標題:	二維材料二硫化鉬電晶體製程技術開發之研究 The Study of Process Development on Transition Metal Dichalcognides MoS2 Transistor
作者:	林孟幃張翼 Lin, Meng-Wei Chang, Edward-Yi 材料科學與工程學系所
關鍵字:	二維材料;二硫化鉬;電晶體;氬電漿;接觸電阻;傳輸線模型;2D material;MoS2;transistor;Ar plasma;contact resistance;TLM
公開日期:	2015
URI:	http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070151519 http://hdl.handle.net/11536/139585
Appears in Collections:	Thesis