標題: 氮化鎵薄膜磊晶在圖案化基板上
Epitaxy of GaN Film on Patterned Substrate
作者: 吳佩瑜
吳耀銓
Wu, Pei-Yu
Wu, YewChung-Sermon
材料科學與工程學系所
關鍵字: 氮化鎵;圖案化藍寶石基板;發光二極體;磊晶;有機金屬化學氣相沉積;氮化鋁;碳化矽基板;GaN;patterned sapphire substrate;LED;epitaxy;MOCVD;AlN;SiC;light-emitting diode
公開日期: 2017
URI: http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070151605
http://hdl.handle.net/11536/142344
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